高溫真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施有哪些
高溫真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,小編就為您介紹爐子的應(yīng)急措施。
一、高溫高溫真空燒結(jié)爐冷卻水異常
1、確認(rèn)加熱電源已停止。
2、爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時(shí),應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施,如能保證水量,請(qǐng)繼續(xù)保持真空,如不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認(rèn)真空燒結(jié)爐設(shè)備冷卻下來。
3、冷卻水發(fā)生異常時(shí),設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),馬上接通緊急用冷卻水。
4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時(shí),如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,設(shè)備的換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
二、真空燒結(jié)爐運(yùn)行中遇到停電
1、停電時(shí),如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間,則將真空燒結(jié)爐保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí),則保持設(shè)備原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。
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